解决方案

PECVD搬运方案

PECVD搬运方案

小草视频免费观看PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)俗称气相沉积机,系利用强电场或磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体,等离子体中含有很多活性很高的化学基团,这些基团经过经一系列化学和等离子体反应,在太阳能电池及硅晶片的表面镀一层SiN薄膜,这层薄膜可以减少太阳光的反射率,增加光电转换效率。PECVD主要应用于非晶硅太阳能薄膜电池生产。

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